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石墨舟装片房和石墨舟装载房是做什么用的?

文章来源: 深圳市华尔拓碳素科技有限公司人气:156发表时间:2020-09-30 09:50:14

深圳石墨模具舟晶圆装载室:太阳能行业使用,配合PECVD载具,装载硅片,准备中效、高效过滤器,保证吹送的空气达到净化要求。


深圳石墨模具舟的工作原理:

空气经过高效过滤后,阻尼层被均匀压紧,使洁净的气流垂直单向送入晶片装载工作区,保证了工作区的清洁度达到工艺要求,操作人员在洁净的环境下将硅片装载到石墨舟内。

深圳石墨模具船的主要特点:

1.石墨舟装卸车能够准确定位;

2.采用不锈钢制造,整机结构牢固可靠;

3.使用三个GK系列高效空气过滤器。

4.PECVD载具可倾斜15度或内部旋转180度;

5.净化风机噪音小于50dB

6.确保工作区的洁净度达到工艺要求的100级。

此文关键词:深圳石墨模具
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